在組成羅茨泵機組時,選擇適當?shù)那凹壉门c羅茨泵的抽速比是至關(guān)重要的,因為羅茨泵的壓縮比是有限的。這個壓縮比直接決定了前級泵的容量,因為抽速與壓縮比成反比。一般而言,選擇壓縮比在2~10之間的前級泵。
另外,還需要考慮對預抽時間的要求。真空設(shè)備通常作為輔助設(shè)備用于各種機械設(shè)備中,如果正常工作時間相比預抽時間較長,可以選用較小的前級泵(壓縮比可稍大些)。而對于較大的真空室,且需要快速預抽的情況,就需使用較大的前級泵。
有時為了提高設(shè)備效率,機組可能前裝有一臺較大的預抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持。這樣的做法是為了節(jié)約功率。
對于羅茨真空泵機組的極限壓力要求,也是選擇前級泵時必須考慮的。若對極限真空度要求較高(在1×10-3Pa1×10-2Pa壓力范圍),一般可選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。而對于極限真空度要求在1×10-2Pa1×10-1Pa之間,可選用單級油封機械泵作為前級泵。而在極限真空度要求在133~1333Pa之間時,可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。
若選用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2—1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
在選擇前級泵時還需考慮被抽氣體中是否含有腐蝕性介質(zhì)、可凝性氣體,以及其量的大小。如果含有腐蝕性氣體,就不適宜選用油封機械泵。同時,油封機械泵也不適用于抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則會使密封液迅速乳化。對于含有微量可凝性蒸汽的氣體,必須選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵作為前級泵。
為了在低入口壓力(1100Pa)時獲得高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成三級或四級機組。此時,羅茨真空泵之間的抽速比一般在25之間。
單級水環(huán)泵的極限真空度不高,但結(jié)構(gòu)簡單、維修方便,一般用于低真空、大抽速的場合。而雙級水環(huán)泵可以提高真空機組的極限真空度,因此**用于真空機組中。
一臺羅茨泵的極限真空度相對較低,特別是當與水環(huán)泵組合運行時,其使用范圍受到限制,整個機組的極限真空度可能更低。但若使用兩臺或多臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合,將**提高機組的極限真空度。
因此,在這種情況下,通常會選擇兩臺羅茨泵串聯(lián),通過各級羅茨泵的逐級增壓,以達到較高的真空度。一般情況下,2SK水環(huán)泵串聯(lián)ZJ150羅茨泵兩臺,可以達到20Pa的極限真空度。
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